Чтобы определить, какие слова из предложенных вариантов нужно писать слитно, давайте рассмотрим каждое предложение и выделенные слова.
(НЕ)ВЗИРАЯ — это составное слово "невзирая", которое всегда пишется слитно. Обоснование: "невзирая" — это обстоятельственный союз, оканчивающий форму "взирая", поэтому пишется слитно.
(СВЕРХ)ЛИЧНОЙ — здесь слово тоже пишется слитно. "Сверх" в значении "выше" или "больше", в данном случае образует слитное написание. Обоснование: "сверхличной" указывает на значение "высшей" личной ценности.
(ПРИ)ЭТОМ — также пишется слитно. Используется в том смысле, что "при всем этом". Обоснование: "при этом" употребляется как единое выражение, следовательно, слитно.
(НА)СТОЛЬКО — пишется слитно. Это слово значит "в такой степени", и в этом контексте оно употребляется правильно. Обоснование: "настолько" всегда пишется слитно.
(В)НАЧАЛЕ — пишется слитно. Слово образовано от предлога "в" и существительного "начале". Обоснование: "в начале" обозначает "в первую очередь". Это устоявшееся выражение и пишется слитно.
Теперь мы можем записать номера ответов, в которых все выделенные слова пишутся слитно:
1, 2, 3, 4, 5.
Таким образом, правильные ответы: 1, 2, 3, 4, 5.